EUV光刻机达到每小时曝光160片晶圆
2020-10-15 09:57:33 来源：科创板日报
《科创板日报》记者从ASML获悉，其公布了EUV路线图上的新机型TWINSCANNXE:3600D的最终规格，这是30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1纳米，并计划于2021年的中期开始发货。(记者 戚夜云)
关键词： EUV光刻机
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